Verfahren zum laserinduzierten Ätzen von Feststoffen
V. Y. Popkova, K. Seppelt, G. A. Shafeew, A. V. Simakin – 2001
Titel
Verfahren zum laserinduzierten Ätzen von Feststoffen
Verfasser
V. Y. Popkova, K. Seppelt, G. A. Shafeew, A. V. Simakin
Datum
2001
Erschienen in
Europ. Patent angemeldet.
Sprache
ger
Art
Text