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Verfahren zum laserinduzierten Ätzen von Feststoffen

V. Y. Popkova, K. Seppelt, G. A. Shafeew, A. V. Simakin— 2001

TitelVerfahren zum laserinduzierten Ätzen von Feststoffen
VerfasserV. Y. Popkova, K. Seppelt, G. A. Shafeew, A. V. Simakin
Datum2001
Erschienen inEurop. Patent angemeldet.
Spracheger
ArtText